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XPS analysis of aluminum nitride films deposited by plasma source molecular beam epitaxy
等离子体源分子束外延氮化铝薄膜的XPS分析
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期刊:Surface and Interface Analysis 作者:Leland Rosenberger; Ronald J. Baird; Erik F. McCullen; Gregory W. Auner; Gina S. Shreve 出版日期:2008-06-23 |
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