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 Improvement of properties of top-gate IGZO TFT by oxygen-rich ultrathin in situ ITO active layer 富氧原位ITO超薄活性层改善顶栅IGZO TFT性能
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Cong Peng; Meng Xu; Longlong Chen; Xifeng Li; Jianhua Zhang 出版日期：2022-07-01 |
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