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标题
Ultraflat hexagonal boron nitride for high-κ dielectric integration
用于高κ介质集成的超扁平六方氮化硼
相关领域
电介质 材料科学 六方氮化硼 氮化硼 纳米技术 六方晶系 氮化物 工程物理 光电子学 结晶学 石墨烯 化学 工程类 有机化学 图层(电子)
网址
DOI
10.1038/s41563-024-02013-9 doi
其它 期刊:Nature Materials
作者:Soo Min Kim; Seungjin Lee; Ki Kang Kim
出版日期:2024-10-29
求助人
太空工程师 在 2025-01-02 19:28:59 发布自天津,悬赏 10 积分
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