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Highly Sensitive Micro-Opto-Electromechanical Systems Accelerometer Based on MIM Waveguide Wavelength Modulation
基于MIM波导波长调制的高灵敏度微光机电系统加速度计
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期刊:IEEE Sensors Journal 作者:Xiuhua Yang; Dunzhu Xia; Jinhui Li; Qingbo Chu 出版日期:2022-12-02 |
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