Annealing effects on the properties of Ga2O3 thin films grown on sapphire by the metal organic chemical vapor deposition

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标题	Annealing effects on the properties of Ga2O3 thin films grown on sapphire by the metal organic chemical vapor deposition 退火对金属有机化学气相沉积蓝宝石上Ga2O3薄膜性能的影响相关领域化学气相沉积材料科学退火（玻璃）无定形固体薄膜金属有机气相外延光致发光扫描电子显微镜蓝宝石结晶分析化学（期刊）表面粗糙度燃烧化学气相沉积碳膜化学工程纳米技术结晶学化学光电子学外延光学复合材料有机化学激光器物理工程类图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2004.02.063
DOI	10.1016/j.apsusc.2004.02.063 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Hyoun Woo Kim; Nam Ho Kim 出版日期：2004-04-23
求助人	雷豪在 2024-12-24 17:00:56 发布自湖北，悬赏 10 积分
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