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 Modeling of surface microtopography evolution in chemical mechanical polishing considering chemical-mechanical synergy 考虑化学-机械协同作用的化学机械抛光表面微形貌演化建模
相关领域
化学机械平面化
抛光
摩擦学
材料科学
曲面（拓扑）
机械强度
纳米技术
化学工程
复合材料
工程类
几何学
数学
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期刊：Tribology International 作者：Ke Yang; Ning Huang; Hongyu Di; Ping Zhou 出版日期：2024-09-06 |
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