Underlayer material design for extreme ultraviolet negative-tone development photolithography process by controlling photoresist-underlayer intermixing

待确认

文献求助详情

标题	Underlayer material design for extreme ultraviolet negative-tone development photolithography process by controlling photoresist-underlayer intermixing 通过控制光致抗蚀剂-底层混合来设计极紫外负性显影光刻工艺的底层材料相关领域极紫外光刻光刻胶光刻材料科学抵抗紫外线极端紫外线光电子学图层（电子）平版印刷术纳米技术语调（文学）扩散光学物理激光器艺术文学类热力学
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.23.4.044602
DOI	10.1117/1.jmm.23.4.044602 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology 作者：Seung Won Han; Eunkyoung Byun; Sukmin Kim; H. J. Lee; Jinsuob Yoon; et al 出版日期：2024-12-31
求助人	宇文天奇在 2025-02-19 12:57:11 发布自北京，悬赏 20 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
1天前

子车茗 Lv12 上传了文件

待审核 044602_1.pdf (2.88 MB)
1天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

12:57:12 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

12:57:11 科研通AI机器人（英国伦敦）收到请求，开始寻找文献

12:57:11 已向机器人发送请求
1天前

宇文天奇求助人 Lv1 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 高高爱读文献上传了应助文件

4秒前; baitaowl完成签到，获得积分10

6秒前; XXXXX完成签到，获得积分10

12秒前; 末小皮发布了新的文献求助10

14秒前; dajiejie完成签到，获得积分10

15秒前; 哈哈呀完成签到，获得积分10

18秒前; lwtsy完成签到，获得积分10

19秒前; 英俊的小天鹅完成签到，获得积分10

23秒前; cong完成签到，获得积分10

23秒前; xmx完成签到，获得积分10

27秒前; 高高爱读文献上传了应助文件

46秒前; 点点完成签到，获得积分10

46秒前; 直率的易槐的应助被末小皮采纳，获得30

46秒前; liucu完成签到，获得积分10

47秒前; NOTHING完成签到，获得积分10

47秒前; Even9完成签到，获得积分10

53秒前; Akim的应助被科研通管家采纳，获得10

59秒前; 幽壑之潜蛟的应助被科研通管家采纳，获得10

59秒前; 牛头人完成签到，获得积分10

1分钟前; chenting完成签到，获得积分10

1分钟前; rsdggsrser完成签到，获得积分10

1分钟前; lichee完成签到，获得积分10

1分钟前; 墨水完成签到，获得积分10

1分钟前; football男孩完成签到，获得积分10

1分钟前; baibai完成签到，获得积分10

1分钟前; 愉快乐瑶完成签到，获得积分10

1分钟前; cata完成签到，获得积分10

1分钟前; 萧水白发布了新的文献求助100

1分钟前; 墨水发布了新的文献求助50

1分钟前; 高高爱读文献上传了应助文件

1分钟前; 优雅的千雁完成签到，获得积分10

1分钟前; 落红禹03完成签到，获得积分10

1分钟前; Alisha完成签到，获得积分10

1分钟前; dada完成签到，获得积分10

1分钟前; 闻屿完成签到，获得积分10

1分钟前; 顾矜上传了应助文件

1分钟前; zeannezg完成签到，获得积分10

1分钟前; 搜集达人上传了应助文件

1分钟前; 小蘑菇完成签到，获得积分10

1分钟前; 活力的镜子完成签到，获得积分10

1分钟前