Single crystal diamond blazed diffraction gratings and Fresnel microlens arrays with improved optical performance by high-resolution 3D laser lithography and pattern transfer by dry etching

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标题	Single crystal diamond blazed diffraction gratings and Fresnel microlens arrays with improved optical performance by high-resolution 3D laser lithography and pattern transfer by dry etching 相关领域材料科学光学微透镜衍射效率平版印刷术干法蚀刻光电子学反应离子刻蚀蚀刻（微加工）衍射衍射光栅菲涅耳衍射钻石栅栏纳米技术镜头（地质）复合材料物理图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1364/osac.2.003374
DOI	10.1364/osac.2.003374 doi
其它	期刊：OSA continuum 作者：Adrien Toros; Nathanaël Restori; Marcell Kiss; Toralf Scharf; Niels Quack 出版日期：2019-12-15
求助人	改之在 2022-12-20 17:21:58 发布自四川，悬赏 10 积分
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