Review of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers and their applications

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标题	Review of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers and their applications 相关领域压电超声波传感器电容式微机械超声换能器 PMUT公司声学传感器材料科学光电子学复合材料物理
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6439/aa851b
DOI	10.1088/1361-6439/aa851b doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Joontaek Jung; Wonjun Lee; Woojin Kang; Eunjung Shin; Jungho Ryu; et al 出版日期：2017-09-22
求助人	喵喵在 2023-01-31 10:49:47 发布，悬赏 10 积分
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