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Study on the Fe Contamination in the Nitride Deposition by LPCVD
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其它 | [1]廖乃镘,赵志国,阙蔺兰,向华兵,李贝,李仁豪.LPCVD氮化硅淀积工艺铁离子沾污研究[J].半导体光电,2015,36(01):63-65+70.DOI:10.16818/j.issn1001-5868.2015.01.015. |
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