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Plasma-surface interactions of model polymers for advanced photoresists using C 4 F 8 Ar discharges and energetic ion beams J. Vac. Sci. Technol. B
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网址
scitation.aip.org/content/avs/journal/jvstb/25/4/10.1116/1.2...
DOI
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AI识别 10.1116/1.2759935 doi
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Frank 在 2023-03-12 23:26:20 发布自江苏，悬赏 10 积分
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