Anisotropy of machined surfaces involved in the ultra-precision turning of single-crystal silicon—a simulation and experimental study

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标题	Anisotropy of machined surfaces involved in the ultra-precision turning of single-crystal silicon—a simulation and experimental study 相关领域材料科学各向异性硅表面粗糙度劈理（地质）打滑（空气动力学） Crystal（编程语言）垂直的单晶结晶学表面光洁度脆性几何学复合材料
网址	https://doi.org/10.1007/s00170-011-3633-7
DOI	10.1007/s00170-011-3633-7 doi
其它	期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 作者：Minghai Wang; Wei Wang; Zesheng Lu 出版日期：2012-05-01
求助人	张某某在 2022-09-20 10:12:41 发布自天津，悬赏 10 积分
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