Utility of dodecyl sulfate surfactants as dissolution inhibitors in chemical mechanical planarization of copper

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标题	Utility of dodecyl sulfate surfactants as dissolution inhibitors in chemical mechanical planarization of copper 相关领域化学机械平面化溶解十二烷基硫酸钠铜泥浆材料科学苯并三唑硫酸铵化学工程硫酸盐无机化学核化学化学图层（电子）色谱法冶金纳米技术复合材料工程类
网址	https://doi.org/10.1557/jmr.2005.0419
DOI	10.1557/jmr.2005.0419 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research 作者：Youngki Hong; Udaya B. Patri; Suresh Ramakrishnan; Dipankar Roy; Suryadevara V. Babu 出版日期：2005-12-01
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