Piezoelectric ultrasonic micromotor with 1.5 mm diameter

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标题	Piezoelectric ultrasonic micromotor with 1.5 mm diameter 相关领域材料科学超声波电动机超声波传感器压电 PMUT公司声学复合材料物理
网址	https://doi.org/10.1109/tuffc.2003.1197958
DOI	10.1109/tuffc.2003.1197958 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control 作者：Shuxiang Dong; Siak Piang Lim; K.H. Lee; Jingdong Zhang; Leong-Chew Lim; et al 出版日期：2003-05-07
求助人	XJTU、薇小宝在 2022-09-19 19:33:06 发布自上海，悬赏 10 积分
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