Scaled indium oxide transistors fabricated using atomic layer deposition

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标题	Scaled indium oxide transistors fabricated using atomic layer deposition 相关领域材料科学跨导晶体管光电子学原子层沉积制作阈值电压氧化物硅铟薄膜晶体管图层（电子）电压电气工程纳米技术工程类冶金医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1038/s41928-022-00718-w
DOI	10.1038/s41928-022-00718-w doi
其它	期刊：Nature electronics 作者：Mengwei Si; Zehao Lin; Zhi-Zhong Chen; Xing Sun; Haiyan Wang; et al 出版日期：2022-02-21
求助人	善班在 2023-03-05 13:52:23 发布自湖北，悬赏 10 积分
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