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标题
Fabrication of nanodamascene metallic single electron transistors with atomic layer deposition of tunnel barrier
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制作 晶体管 原子层沉积 材料科学 电子束光刻 抛光 平版印刷术 图层(电子) 沉积(地质) 光电子学 隧道枢纽 电子 化学机械平面化 纳米技术 阻挡层 抵抗 量子隧道 复合材料 电气工程 物理 电压 古生物学 病理 医学 量子力学 生物 替代医学 沉积物 工程类
网址
DOI
10.1116/1.4932156 doi
其它 期刊:Journal of vacuum science and technology
作者:Golnaz Karbasian; Alexei O. Orlov; Gregory L. Snider
出版日期:2015-10-05
求助人
李辉 在 2023-03-10 10:51:29 发布,悬赏 10 积分
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