标题 |
Mid-infrared silicon photonic phase shifter based on microelectromechanical system
基于微机电系统的中红外硅光子移相器
相关领域
移相模块
材料科学
微电子机械系统
绝缘体上的硅
包层(金属加工)
光电子学
插入损耗
栅栏
光学
波导管
硅光子学
光子学
硅
物理
冶金
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其它 |
期刊:Optics Letters 作者:Haoyang Sun; Qifeng Qiao; Ji Xia; Chengkuo Lee; Guangya Zhou 出版日期:2022-10-17 |
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