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[求助补充材料]
 Oriented AlN films prepared with solid AlCl3 source by bias assisted Cat-CVD 偏压辅助Cat-CVD法制备AlN薄膜
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期刊：Materials Science and Engineering B 作者：Anping Huang; Guowei Wang; S. L. Xu; Mankang Zhu; G.H. Li; et al 出版日期：2004-02-17 |
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