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 High-k HfxZr1-xO₂ Ferroelectric Insulator by Utilizing High Pressure Anneal 利用高压退火的高k HfxZr1-xO₂铁电绝缘体
相关领域
材料科学
铁电性
退火（玻璃）
锡
电介质
铪
分析化学（期刊）
等效氧化层厚度
锆
衍射仪
纳米晶材料
氧化物
介电常数
高-κ电介质
光电子学
矿物学
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Dipjyoti Das; Sanghun Jeon 出版日期：2020-04-28 |
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