| 标题 |
Control of the magnetic film composition and uniformity in magnetron sputtering
磁控溅射中磁性薄膜成分和均匀性的控制
相关领域
材料科学
溅射沉积
作文（语言）
溅射
腔磁控管
光电子学
工程物理
纳米技术
薄膜
工程类
语言学
哲学
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期刊：Rare Metal Materials and Engineering 作者：Zhu Yaomin; Jia Li; Xiaoping Song; Qiang Chen 出版日期：2004-01-01 |
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