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标题
Rapidly Thinning Silicon Carbide By Anodization
用阳极氧化法快速减薄碳化硅
相关领域
材料科学 蚀刻（微加工） 碳化硅 薄脆饼 阳极氧化 硅 反应离子刻蚀 光电子学 各向同性腐蚀 惰性 纳米技术 冶金 图层（电子） 化学 铝 有机化学
网址
https://doi.org/10.1149/ma2020-01231335mtgabs
DOI
10.1149/ma2020-01231335mtgabs doi
其它 期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者：Stanley Ken-Hua Kuo; Bill Po-Yen Jian; Wenshuo Li; Yean‐Ren Hwang; T. -H. Lee
出版日期：2020-05-01
求助人
lyh 在 2024-12-31 14:46:56 发布自北京，悬赏 10 积分
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  • 5天前

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