标题 |
A piezoelectric stick–slip drive nanopositioner with large velocity under high load
一种高负载下大速度压电粘滑驱动纳米定位器
相关领域
压电
刚度
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期刊:AIP Advances 作者:Sen Gu; Peng Pan; Junhui Zhu; Yong Wang; Feiyu Yang; et al 出版日期:2020-10-01 |
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