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Influence of beam polarization on underwater femtosecond laser machining of silicon wafer
光束偏振对水下飞秒激光加工硅片的影响
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期刊:Journal of Manufacturing Processes 作者:Chengjin Wang; Zhiwen Wang; Xiaoqing Wang; Cheng‐Long Ji; Shengwang Zhu; et al 出版日期:2024-08-20 |
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