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Experimental study of transition from electron beam to rf-power-controlled plasma in DFCCP in argon with additional ionization by an electron beam
氩气中DFCCP电子束向射频功率控制等离子体转变的实验研究
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期刊:Journal of Physics D: Applied Physics 作者:A I Zotovich; D V Lopaev; M A Bogdanova; S M Zyryanov; A T Rakhimov 出版日期:2022-04-14 |
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