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标题
Improving periodic uniformity of area-type LIPSS on Si wafer using a flat-top beam femtosecond NIR laser
利用平顶光束飞秒近红外激光改善硅晶片上区域型LIPSS的周期均匀性
相关领域
薄脆饼 光学 材料科学 梁（结构） 飞秒 制作 激光器 高斯光束 光束直径 信号（编程语言） 光电子学 激光束 物理 医学 替代医学 病理 计算机科学 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/acd094
DOI
10.35848/1347-4065/acd094 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Junha Choi; Young-Gwan Shin; Kwangwoo Cho; Won Seok Chang; Soon-Heung Chang; et al
出版日期：2023-05-01
求助人
强健的雨泽 在 2024-12-23 15:23:04 发布自湖北，悬赏 10 积分
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