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标题
Evaluation of the impact of abnormal grains on the performance of Sc0.15Al0.85N-based BAW resonators and filters
异常晶粒对Sc0.15Al 0.85 N基BAW谐振器和滤波器性能影响的评估
相关领域
谐振器 材料科学 薄脆饼 压电 谐振器耦合系数 溅射 带宽（计算） 体积热力学 光电子学 声学 复合材料 薄膜 纳米技术 电信 计算机科学 物理 量子力学
网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6439/ac4826
DOI
10.1088/1361-6439/ac4826 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Chen Liu; Minghua Li; Bangtao Chen; Ying Zhang; Yao Zhu; Nan Wang
出版日期：2022-01-06
求助人
zj 在 2025-02-13 16:35:50 发布自四川，悬赏 10 积分
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