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 Using the RGB data of bright-field optical microscopy to efficiently monitor the surface cleanliness of the active elements of semiconductor wafers in the planar production cycle 利用明视场光学显微镜的RGB数据高效监测平面生产周期中半导体晶圆有源元件的表面清洁度
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期刊：Journal of Optical Technology 作者：A. А. Козырев; M. V. Goreeva; D. N. Burtsev; Yu. A. Eliseeva 出版日期：2020-06-01 |
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