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 Development of magnetically preloaded air bearings for a linear slide: Active compensation of three degrees of freedom motion errors 线性滑轨磁力预载空气轴承的研制：三自由度运动误差的主动补偿
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Seung-Kook Ro; Soohyun Kim; Yoon-Keun Kwak; Chun-Hong Park 出版日期：2008-03-01 |
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