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High-throughput microchannel fabrication in fused silica by temporally shaped femtosecond laser Bessel-beam-assisted chemical etching
飞秒激光贝塞尔辅助化学刻蚀法制备熔融石英高通量微通道
相关领域
材料科学
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期刊:Optics Letters 作者:Zhi Wang; Lan Jiang; Xiaowei Li; Andong Wang; Zhulin Yao; et al 出版日期:2017-12-22 |
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