Finite Element Analysis for Design Optimization of MEMS Double Ended Tuning Fork Resonator

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标题	Finite Element Analysis for Design Optimization of MEMS Double Ended Tuning Fork Resonator MEMS双端音叉谐振器优化设计的有限元分析相关领域谐振器音叉多物理有限元法灵敏度（控制系统）微电子机械系统声学振动边值问题电子工程正常模式模态分析材料科学工程类光电子学物理结构工程量子力学
网址	https://doi.org/10.1149/10701.4697ecst
DOI	10.1149/10701.4697ecst doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Anshu Sharma; Vijay Kumar; Harinder Kaur 出版日期：2022-04-24
求助人	房东在 2024-01-10 14:44:06 发布自重庆，悬赏 10 积分
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