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 Recent advances in the development of the Texas Instruments phase-only microelectromechanical systems (MEMS) spatial light modulator 德州仪器纯相位微机电系统（MEMS）空间光调制器的研究进展
相关领域
空间光调制器
微电子机械系统
平坦度（宇宙学）
CMOS芯片
相位噪声
电子工程
材料科学
光电子学
光学
计算机科学
工程类
物理
宇宙学
量子力学
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Terry A. Bartlett, William C. McDonald, James N. Hall, Patrick I. Oden, Dennis Doane, Remington S. Ketchum, Taylor Byrum Author Affiliations + Proceedings Volume 11698, Emerging Digital Micromirror Device Based Systems and Applications XIII; 116980O (2021) https://doi.org/10.1117/12.2582199 Event: SPIE OPTO, 2021, Online Only |
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