Synthesis of a PCST-containing acrylic polymers and its application in negative-tone photoresist

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标题	Synthesis of a PCST-containing acrylic polymers and its application in negative-tone photoresist 含PCST丙烯酸树脂的合成及其在负色调光刻胶中的应用相关领域光刻胶材料科学抵抗丙烯酸酯聚合物分散性光刻热稳定性平版印刷术激光线宽分辨率（逻辑）化学工程高分子化学纳米技术复合材料光电子学光学激光器计算机科学单体工程类物理人工智能图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.matlet.2023.134426
DOI	10.1016/j.matlet.2023.134426 doi
其它	期刊：Materials Letters 作者：Jintong Li; Tianzhao Wu; Jinshun Zhao; Huimin Xue 出版日期：2023-05-04
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