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Contacts and lines SEM image metrology with SMILE
微笑接触线扫描电镜图像计量
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极紫外光刻 计量学 平版印刷术 软件 纳米光刻 计算机科学 线条宽度 临界尺寸 一致性(知识库) 表面光洁度 度量(数据仓库) 材料科学 光学 人工智能 纳米技术 光电子学 物理 数据挖掘 程序设计语言 医学 替代医学 复合材料 病理 制作
网址
DOI
10.1117/12.2600911 doi
其它 期刊:
作者:Iacopo Mochi; Michaela Vockenhuber; Timothée Allenet; Yasin Ekinci
出版日期:2021-09-27
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清清 在 2025-03-17 22:02:41 发布自福建,悬赏 20 积分
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