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Optimizing AlF3 atomic layer deposition using trimethylaluminum and TaF5: Application to high voltage Li-ion battery cathodes
使用三甲基铝和TaF5优化AlF3原子层沉积:在高压锂离子电池正极中的应用
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期刊:Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者:David H. K. Jackson; Masihhur R. Laskar; Shuyu Fang; Shenzhen Xu; Ryan G. Ellis; et al 出版日期:2016-03-10 |
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