Passivation Kinetics of 1,2,4-Triazole in Copper Chemical Mechanical Polishing

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标题	Passivation Kinetics of 1,2,4-Triazole in Copper Chemical Mechanical Polishing 1,2，4-三唑在铜化学机械抛光中的钝化动力学相关领域钝化材料科学铜计时安培法腐蚀苯并三唑电化学化学机械平面化极化（电化学）无机化学抛光化学工程冶金电极纳米技术化学物理化学图层（电子）循环伏安法工程类
网址	https://doi.org/10.1149/2.0171605jss
DOI	10.1149/2.0171605jss doi
其它	期刊：ECS journal of solid state science and technology 作者：Liang Jiang; Yongyong He; Jing Li; Jianbin Luo 出版日期：2016-01-01
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