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 Plasma-Enhanced Chemical-Vapor-Deposited SiOx(Ny)/n-type Polysilicon-on-Oxide-Passivating Contacts in Industrial Back-Contact Si Solar Cells 工业背接触硅太阳电池中等离子体增强化学气相沉积SiOx（Ny）/n型氧化物上多晶硅钝化触点
相关领域
材料科学
化学气相沉积
氧化物
等离子体
多晶硅耗尽效应
分析化学（期刊）
光电子学
化学
冶金
电气工程
晶体管
栅氧化层
物理
环境化学
量子力学
电压
工程类
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