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Structure and hydrogen content of polymorphous silicon thin films studied by spectroscopic ellipsometry and nuclear measurements
用光谱椭偏和核测量研究多晶硅薄膜的结构和氢含量
相关领域
材料科学
弹性后坐力检测
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期刊:Physical review. B, Condensed matter and materials physics 作者:Anna Fontcuberta i Morral; Pere Roca i Cabarrocas; C. Clerc 出版日期:2004-03-10 |
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