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标题
Polarization aberration analysis in lithographic tools
光刻工具中的偏振像差分析
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泽尼克多项式 光学 平版印刷术 极化（电化学） 数值孔径 浸没式光刻 物理 波前 计算机科学 材料科学 抵抗 波长 物理化学 复合材料 化学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/1.oe.58.8.082405
DOI
10.1117/1.oe.58.8.082405 doi
其它 期刊：Optical Engineering
作者：Shuang Xu; Bo Tao; Yongxing Guo; Gongfa Li
出版日期：2019-01-24
求助人
aha 在 2024-08-12 18:24:34 发布自广东，悬赏 20 积分
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