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 Fabrication of CMUTs using sacrificial release process with ashing assisted polysilicon release 使用牺牲释放工艺以及灰化辅助的硅释放来制造CMUT
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材料科学
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期刊：International Conference on Biomedical and Intelligent Systems (IC-BIS 2022) 作者：U Kin; Xin Liu; Yuanyu Yu; Jiujiang Wang; Sio Hang Pun; et al 出版日期：2022-12-06 |
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