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标题
Exploring different approaches of multipulse HiPIMS
探索多脉冲HiPIMS的不同方法
相关领域
高功率脉冲磁控溅射 材料科学 纳米技术 溅射 薄膜 溅射沉积
网址
DOI
10.1016/j.surfcoat.2024.131670 doi
其它 期刊:Surface and Coatings Technology
作者:Jaroslav Hnilica; Pavel Souček; Martin Ondryáš; Peter Klein; Matej Fekete; et al
出版日期:2024-12-01
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