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标题
Properties study of ZnO films prepared by ALD
ALD法制备ZnO薄膜的性能研究
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网址
DOI
10.1016/j.molstruc.2022.133804 doi
其它 期刊:Journal of Molecular Structure
作者:Fei Yang; Yuechan Li; Yuejie Li; An Xie; Yongli Li; et al
出版日期:2022-12-01
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