Electrochemical corrosion behavior and theoretical simulation of cobalt in chemical mechanical polishing process

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标题	Electrochemical corrosion behavior and theoretical simulation of cobalt in chemical mechanical polishing process 化学机械抛光过程中钴的电化学腐蚀行为及理论模拟相关领域化学机械平面化抛光溶解腐蚀泥浆材料科学电化学表面粗糙度钴吸附化学工程缓蚀剂乙二胺无机化学冶金化学复合材料电极有机化学物理化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.electacta.2023.143184
DOI	10.1016/j.electacta.2023.143184 doi
其它	期刊：Electrochimica Acta 作者：Bo Ye; Guofeng Pan; Xueli Yang; Yuhang Qi; Qi Fang; et al 出版日期：2023-11-01
求助人	Ying瀅在 2025-04-02 13:10:40 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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