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标题
Effects of Carbon Doping and DC Bias Voltage on Microstructure and Mechanical Properties of AlCrCN Films Synthesized via HiPIMS
碳掺杂和直流偏压对HiPIMS合成AlCrCN薄膜组织和力学性能的影响
相关领域
材料科学 高功率脉冲磁控溅射 X射线光电子能谱 偏压 分析化学(期刊) 微观结构 兴奋剂 复合材料 压痕硬度 弹性模量 纳米技术 溅射沉积 化学工程 薄膜 电压 溅射 化学 有机化学 光电子学 电气工程 工程类
网址
DOI
10.3390/ma15165729 doi
其它 期刊:Materials
作者:Jian-Fu Tang; Shang-Hao Wang; Fu-Chi Yang; Chi-Lung Chang
出版日期:2022-08-22
求助人
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