Role of BCl3 gas in Ti/Al/Ti dry etching process

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标题	Role of BCl3 gas in Ti/Al/Ti dry etching process BCl3气体在Ti/Al/Ti干法刻蚀过程中的作用相关领域材料科学钛干法蚀刻冶金蚀刻（微加工）复合材料图层（电子）
网址	https://doi.org/10.3788/yjyxs20193409.0857
DOI	10.3788/yjyxs20193409.0857 doi
其它	期刊：Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays 作者：李淳东 LEE Soon-dong; 李知勋 LEE Ji-Hoon; 陈兵 CHEN Bing; 刘杰 LIU Jie; 吴国特 WU Guo-te; et al 出版日期：2019-01-01
求助人	hahahah 在 2025-04-21 20:21:25 发布自广东，悬赏 10 积分
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