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 Characterization of particle generated during plasma-enhanced chemical vapor deposition on amorphous carbon layer using particle beam mass spectrometer 非晶碳层等离子体增强化学气相沉积过程中产生的粒子的粒子束质谱仪表征
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
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材料科学
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无定形碳
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化学气相沉积
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Dong‐Bin Kim; TaeWan Kim; Sang Hyun Park; Sung Kyu Lim; Hyo‐Chang Lee; et al 出版日期：2017-12-12 |
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