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 Effect of flux rate on the growth of AlN films on sapphire by MNVPE 通量对MNVPE法在蓝宝石上生长AlN薄膜的影响
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期刊：Materials science in semiconductor processing 作者：Yuxuan Song; Hui Zhang; Xiangyu Lin; Xinjian Xie; Chaoyuan Li; et al 出版日期：2023-12-01 |
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