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 Fabrication of high-aspect ratio, micro-fluidic channels and tunnels using femtosecond laser pulses and chemical etching 利用飞秒激光脉冲和化学蚀刻制备高深宽比微流体通道和隧道
相关领域
飞秒
材料科学
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期刊：Optics Express 作者：Yves Bellouard; Ali A. Said; Mark Dugan; Philippe Bado 出版日期：2004-01-01 |
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