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 Influence of plasma power on deposition mechanism and structural properties of MoOx thin films by plasma enhanced atomic layer deposition 等离子体功率对等离子体增强原子层沉积MoOx薄膜沉积机理和结构性能的影响
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Chen Wang; Chun-Hui Bao; Wan-Yu Wu; Chia-Hsun Hsu; Ming-Jie Zhao; et al 出版日期：2021-05-01 |
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