| 标题 |
 Deposition and structural investigation of uniform AlN(100) films at wafer scale through RF magnetron sputtering 射频磁控溅射制备晶圆级均匀AlN（100）薄膜及结构研究
相关领域
材料科学
薄脆饼
溅射沉积
溅射
结晶度
光电子学
制作
微晶
沉积（地质）
基质（水族馆）
位错
腔磁控管
复合材料
无线电频率
薄膜
纳米技术
冶金
电气工程
工程类
生物
古生物学
沉积物
医学
海洋学
替代医学
病理
地质学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Ceramics International 作者：Zhengwang Cheng; Xinhang Wang; Jun Gao; Mei Wang; Aobo Wang; et al 出版日期：2024-05-11 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
带头大哥
爱静静
寻道图强
Billy
平常的毛豆
yangguang2000
双黄
嗯哼
杳鸢
秀丽烨霖
苹果丑
Yziii
妖娃娃
马大翔
浅笑
从容芮
tuanheqi
科目三
美好斓
小鱼爱吃肉
皖公网安备34019202002308
