Deposition and structural investigation of uniform AlN(100) films at wafer scale through RF magnetron sputtering

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作者
Zhengwang Cheng,Xinhang Wang,Jun Gao,Mei Wang,Aobo Wang,Huating Bo,Zhenghao Guo,Wei Zou,Xinguo Ma
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier]
卷期号:50 (16): 28601-28608 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2024.05.170
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